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Renishaw雷尼紹差分干涉儀

更新時間:2024-12-06

簡要描述:

Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI允許測量相對于定義參考對象的位置變化。

型號:RLD10 DI點(diǎn)擊量:1152

  免費(fèi)咨詢:86-0769-81815636

  發(fā)郵件給我們:bella@irie.com.cn

Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述:

差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。

差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計,可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整,從而改進(jìn)準(zhǔn)直過程(僅適合平面鏡應(yīng)用)。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進(jìn)入工作腔即可校正光路,內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整,安裝系統(tǒng)的設(shè)計允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置,對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。

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特性與優(yōu)點(diǎn):

測量性能-ppb穩(wěn)頻精度,超低周期誤差,輸出分辨率達(dá)到38.6pm。

差分配置-測量運(yùn)動平臺相對于安裝立柱的位移,從而消除常見模式誤差,例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡,很簡單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整,從而消除真空室和鏡組安裝公差。

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。

Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格:

軸行程

0m-1m

分辨率(使用RLU配置)

模擬正交=λ/4 (158nm)
數(shù)字正交=10nm
RPI20分辨率=38.6pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50mm/s且信號強(qiáng)度>70%時<±1nm
1m/s且信號強(qiáng)度>50%時<±6nm

最高速度

最高可達(dá)1m/s






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